ICP光譜儀主要是通過熱激發來獲得特征輻射的，因為分析物原子可以被激發至各個激發態能級，所以在原子光譜中發射光譜的譜線為復雜，光譜干擾非常嚴重。
icp發射光譜法與采用經典光源的發射光譜法相比，因為只改變了激發光源，提高的只是光源的分析性能，所以光譜干擾的問題依然存在，并且沒有得到任何改善。
因此在進行定量分析時往往必須考慮光譜干擾的問題，需要選擇適當的校正方法。發射光譜譜線多是形成光譜干擾的主要原因，但同時它也為我們提供了豐富的信息，讓我們有了更多的選擇余地，這也是其定性分析之所以準確可靠的原因所在。
當我們進行定量分析時，如果我們選用的分析靈敏線被與其他譜線發生了重疊干擾，這時我們就可以重新選擇沒有被干擾的譜線。
特別值得一提的是現在很多的商品儀器已經采用了中階梯光柵的二維色散方式，使光的色散率和譜線的分辨率得到了明顯的提高，這無疑又為我們選擇分析線創造了更好的條件。
下面讓我們一起來了解一下ICP光譜儀的優點:
1、多元素同時檢出能力。可同時檢測一個樣品中的多種元素。一個樣品一經激發，樣品中各元素都各自發射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。
2、分析速度快。試樣多數不需經過化學處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析，同時還可多元素同時測定，若用光電直讀光譜儀，則可在幾分鐘內同時作幾十個元素的定量測定。
3、選擇性好。由于光譜的特征性強，所以對于一些化學性質極相似的元素的分析具有特別重要的意義。如鈮和鉭、銑和鉿、十幾種稀土元素的分析用其他方法都很困難，而對aes來說是毫無困難之舉。
4、檢出限低。一般可達0、1~1ug·g-1，值可達10-8~10-9g。用電感耦合等離子體(icp)新光源，檢出限可低至數量級。
5、用icp光源時，準確度高，標準曲線的線性范圍寬，可達4~6個數量級。可同時測定高、中、低含量的不同元素。因此icp-aes已廣泛應用于各個領域之中。
6、樣品消耗少，適于整批樣品的多組分測定，尤其是定性分析更顯示出*的優勢。
